Equipamentos
Características técnicas do microscópio EVO MA10 da Carl Zeiss e acessórios instalados
Equipamentos instalados no LMME da UFF.
A seguir são apresentadas as especificações técnicas do microscópio eletrônico digital de varredura e que se encontra instalado no Laboratório Multiusuário de Microscopia Eletrônica (LMME). O LMME foi financiado pela ação CT-INFRA – PROINFRA 01/2006 do MCT / FINEP e encontra-se em funcionamento desde outubro de 2008.
Quadro 1: Detalhamento das características do microscópio EVO MA10 da Zeiss.
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Especificação |
Descrição |
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Resolução Espacial em operação a alto vácuo |
3 nm @ 30 kV no modo de elétrons secundários para W; 2 nm @ 30 kV no modo de elétrons secundários para LaB6. |
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Filamento de Tungstênio (W) |
Padrão |
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Sistema para operação com filamento LaB6 |
Opcional |
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Faixa de ampliações |
7 – 1.000.000,00x |
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Faixa de Tensão de aceleração |
0,2 – 30 kV |
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Faixa de Pressão de operação |
10 – 400 Pa |
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Detectores disponíveis |
Detector do tipo Everhart Thornley padrão (elétrons secundários); detector de elétrons secundários para baixo vácuo; detector de 4 quadrantes; (elétrons retroespalhados); sistema CCD infra-vermelho da câmara de amostras. |
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Dimensão da câmara de amostras |
310 mm (diâmetro) x 220 mm (largura) |
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Estágio de movimentação de amostras |
X: 80 mm, Y: 100 mm, Z: 35 mm; Inclinação (tilt): 0 a +90°; rotação: 360º. |
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Resolução máxima de imagens digitalizadas |
3.072 x 2.304 pixels (16 bit) |
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Acessórios opcionais instalados |
Sistema para operação com filamento LaB6; sistema de medição de corrente nas amostras. |
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Sistema integrado de EDS e EBSD modelo Pegasus MX4i da marca EDAX |